霍尔离子源驱动系统
射频中和器驱动系统
射频离子源驱动系统
气体流量控制器
--产品特点--
1.采用模块化设计、高集成度、一键式启动、LED触摸屏操作界面、手动与自动控制相结合
2.集成多通道气体流量计与高性能匹配网络系统、多种接口方式、具备过流保护
3.通过先进的束控制算法实现出色的工艺稳定性
4.利用变频技术实现轻松的中和剂操作
5.通过高级故障处理电路获得卓越的耐久性
6.可定制的控制设置，实现量身定做的个性化操作
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