连续工作时间长:传统灯丝型离子源工作5小时 VS 中空阴极霍尔源100h以上;
功率大:基本配置即可达300V/15A,远远高于传统离子源(200V/10A Max);
工作环境适应性强:单台可覆盖1.1米直径真空腔室、对工作气体无要求、可灵活适应氧气及多种惰性气体环境;
发热低:长时间工作发热低于70度,优于传统200度左右的温升;
产品污染少:不同于灯丝型阴极对产品膜层造成污染;
改进了对薄膜应力和化学计量的控制,立体式水冷设计;
创新型结构设计和灵活整合,使节省空间与广泛的射束角度成为可能;
维护便利, 性价比高,适合传统工业生产工艺升级;