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博顿新型离子源产品系列可面向高精度传统光学、光通信、国防军事、航天导航、LED、半导体、空间探索、生物医疗等多行业领域,

提供纳米级超高精度多层镀膜、表面刻蚀及表面抛光等高端微纳加工应用。

高端光学
博顿提供的系统和组件可为高端精密光学涂层和光电设备等提供卓越的工艺性能及卓越的生产效率。
半导体
博顿提供自主核心技术和高性价比解决方案。满足半导体制造商对材料沉积、去除和表面处理等微纳加工制程的需求。
MEMS
博顿离子源系统可对复杂薄膜层结构进行精确控制,从而造就更为小巧的规格和集成组合设备。

微机电系统 (MEMS) 是一种小型设备,可将电气和机械部件相结合,以便以某种方式感知周围环境或与其互动。

MEMS 设备类型多种多样,但一些主要示例包括:
汽车安全气囊加速计;喷墨打印头;手机、便携式游戏系统和其他“智能”设备中的陀螺仪;麦克风;无线通信系统;便携式实验室芯片器件。即将来临的物联网 (IoT) 时代将在很大程度上依赖于使智能设备与现实世界实现互动的 MEMS 和传感器。
  LED
  在背光、普通照明、汽车和其他领域中对LED  日益高涨的需求促使制造商以更低的成本尽可  能快地提高生产效率,增加产量以及提高产品  质量。 

  博顿打破国外高级离子束源和组件技术与产品  垄断,提供高可靠性和可定制化的产品与解决  方案:

· 高端离子源技术可提供行业最高的生产效率和最佳良率;
· 结合特定工艺定制方案,可以使 LED 生产几  乎不间断;
· 资本效率最高的系统(由于可完全自动化生产并且在维修后恢复周期较短)