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核心产品
CORE PRODUCTS
其它配件
FITTINGS
博顿提供一系列完全可替代国外同类产品的高价值关键配件和耗材,包括电离石英腔室、电离陶瓷腔室、霍尔离子源导热片、高纯度靶材及镀膜材料等,同时提供配件和耗材定制开发服务。
技术优势
TECHNICAL ADVANTAGES

IAD离子源辅助镀膜及离子束PVD镀膜技术优势


· 更高的沉积能量→高能粒子沉积能形成更致密的薄膜→薄膜性能更稳定
· 更高的真空沉积环境→更高的薄膜纯度,不受污染实现材料预清洗功能→实现更好的表面附着效果 
· 稳定沉积速率→精确厚度控制(<0.1nm光学厚度控制)→均匀性能更好
· 易于控制→容易实现全自动控制功能→实现全面工业自动化生产

离子束物理刻蚀及化学反应刻蚀技术优势

· 物理刻蚀(离子束刻蚀)

    高准直束流提供更精细的加工效果→方向性比传统工艺更强

    可以对任何固体材料进行加工→不受材料类型限制

    提供更稳定的控制能力→高刻蚀速率→完美的重复效果


· 化学反应刻蚀(离子束反应刻蚀)

     材料选择性刻蚀

     高效率

     高重复性

离子束修形技术优势

1、离子束修形是现有世界上最精确的表面修形技术。加工精度高、光洁度好。去除材料的最小单位是原子级别。加工的面形精度达1/10~1/50波长


2能加工各种形状和尺寸的表面有些材料的硬度很高, 除了用离子束抛光以外, 很难用其它方法进行超精密加工。


3、加工零件的表面结构好离子束抛光的特点之一是不产生热量, 不会引起工件的表面裂纹、应力和变形, 也没有表面污染问题。这是离子束抛光与磁流变抛光、超精密气囊抛光和普通磨料加工之间的明显优势所在。


4、离子束非常适宜加工传统方法难于加工的轻质、薄型、异性光学零件。