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ABOUT US
    “博顿光电”是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高科技企业。 博顿光电是国家高新技术企业,核心团队在光电技术与微纳加工高端装备制造领域具备国内顶尖的专业技术研发与设计能力。主营业务与产品为: 1、各类高端离子源设备产品:RF离子源、中空阴极霍尔离子源、IBF专用离子源、其他特种离子源 2、离子束微纳加工装备产品与解决方案提供 3、离子束薄膜沉积、刻蚀及表面处理工艺方案开发与服务 4、面向光电细分行业的物联网与工艺互联网平台服务 博顿光电致力于通过高端离子源核心技术及离子束装备的国产化,在离子源微纳加工核心部件与整机装备细分领域取得突破、成为行业“单打”冠军,打破国外垄断,解决国内在高端离子源及离子束设备领域“用不上”和“用不起”的行业困局,从上游核心部件解决精密光电行业的“卡脖子”问题,有力支撑我国精密光学、光通信、OLED、半导体等战略性产业的创新和发展升级,带动相关产业和行业的能力与价值提升。

     专注于离子束微纳加工核心部件、高端装备与工艺解决方案提供,致力成为离子束细分领域的“单打冠军”。

发展历程
DEVELOPMENT COURSE
2016年4月
以高端光电装备创业项目被引进到中山市进行落地
2017年7月
获批中山市科技重大专项《离子源装置及其关键部件的研发与产业化应用》
2018年3月
获批广东省科技型中小企业认定
2018年8月
完成中空阴极霍尔离子源、射频离子源第一代产品
2017-2018
与中科院长春光机所、大连化物所、微电子所、北京理工、国防科大、暨南大学等达成一系列战略合作和联合实验室
2016年10月
荣获第五届中国创新创业大赛广东中山赛区一等奖
2017年11月
获得知名创投机构点亮资本天使轮投资
2018年7月
通过市工作母机、首台套重大技术装备推广应用指导目录认定
2018年10月
荣获2018中国创新创业大赛军民融合专业赛(惠州赛区) 二等奖
2018年10月
通过高新技术企业认定
广东省中小型科技企业
中山市重大专项立项
广东省高新技术产品证书
第五届中国创新创业大赛(一等奖)
中国创新创业大赛军民融合专业赛(二等奖)
技术基础
TECHNICAL BASIS

博顿核心团队深耕光电领域多年,尤其在射频离子源研发和应用领域具有丰富经验。

· 联合美国Denton真空和摩托罗拉公司于深圳伯恩光学,开发基于离子增强薄膜沉积技术类金刚石薄膜沉积设备,并交付使用。

· 联合美国Denton真空和美国NextBiometrics于台湾群创光电新竹科技园,开发关于指纹识别芯片的离子增强薄膜沉积设备。

· 协助上海技术物理研究所使用离子束溅射镀膜技术,开发关于量子通信方向低损耗薄膜的应用。

· 协助长春光机所使用离子束溅射镀膜技术开发关于深紫外薄膜的应用。

· 协助长春光机所使用离子束溅射刻蚀技术实现大面积光栅刻蚀。

· 协助福州高意科技公司(美国纳斯达克上市II-VI 集团子公司)基于离子源束溅射沉积的光通信高精度膜堆产品。

· 协助国防科技大学关于离子束表面加工设备的开发。

· 协助成都南光真空、成都兴南真空、北京衡扬真空、沈阳科学仪器厂等多家OEM厂商,提供技术咨询与服务。

专利证书
PATENTS


博顿光电已获专利技术


序号专利类型专利名称专利权人专利号
1发明专利一种利用率高的离子源溅射靶材装置及其使用方法假日国际平台 201710176088.6
2发明专利一种电离效果稳定的射频离子源中和器假日国际平台 201710176087.1
3发明专利一种多离子源溅射生产薄膜的装置及方法假日国际平台 201710196778.8
4发明专利一种利用率高的新型靶材系统及其使用方法假日国际平台 201710291171.8
5发明专利一种水冷式射频中和器假日国际平台 201811132769.3
6发明专利一种条形霍尔离子源假日国际平台 201811133963.3
7实用新型电子源器件假日国际平台 ZL201621474934.X
8实用新型霍尔离子源假日国际平台 ZL201621417962.8
9实用新型一种利用率高的离子源溅射靶材装置假日国际平台 ZL201720287616.0
10实用新型一种电离效果稳定的射频离子源中和器假日国际平台 ZL201720287325.1
11实用新型一种多离子源溅射生产薄膜的装置假日国际平台 ZL201720316885.5
12实用新型一种新型离子源偏压刻蚀系统假日国际平台 ZL201720456719.5
13实用新型一种利用率高的新型靶材系统假日国际平台 ZL201720460492.1
14实用新型一种新型的阵列式射频离子源装置假日国际平台 ZL201720472669.X
15实用新型一种水冷式射频中和器假日国际平台 201821585266.7
16实用新型一种条形霍尔离子源假日国际平台 201821582024.2
17实用新型一种用于离子源的中空阴极假日国际平台 201821582003.0
18实用新型一种射频中和器冷却装置假日国际平台 201821585267.1